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EUV光源，很好的视频，讲到激光器和电子加速器

(2023-09-13 21:21:03) 下一个

 

ASML是系统，光学系统是ＺＥＩＳＳ产品，光源是激光（Tin）Plasma　ｐｒｏｃｅｓｓ，挺复杂的

 

 

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