MEMS传感器专利的落地之旅——从研发到成功实施

MEMS传感器专利的落地之旅——从研发到成功实施

Tu Xiang Zheng (涂向真)

2004年的秋天，我又来到了台湾的新竹科学园。“春华秋实”，秋季是收获的季节。田野稻子黄澄澄，山坡苹果金灿灿。龙眼，荔枝，芒果，凤梨，柚子，柿子，硕果累累。西瓜，南瓜，冬瓜，甜瓜，苦瓜，丝瓜满地飘香。人们看到这些丰收景象，怎能不喜在心头，笑在脸上呢？

是的，人们欢声笑语欢庆丰收，农业种植是如此，科技开发何尝不是如此呢！ 我的一项MEMS传感器专利在新竹科学园实施一年多了，工程师们夜以继日，辛勤奋战，付出了巨大的心血，该是瓜熟蒂落的时候了。当我进入新竹科学园的第一天，就被园区的秋景吸引住了，漫山遍野的白芒花，遮天蔽日的黄楽树。我感到心花怒放，神清气爽，这显然是大自然向我昭示着喜庆之兆。

果然，自从专利实施开始，每隔几天都有好消息传给我，或是工艺进展顺利，或是测量结果喜人。我听了以后，像是吃了蜜似的，美不可言。

作为这项MEMS传感器的发明人，我自信我设计的传感器，是经过深思熟虑，反复模拟，能确保结构合理，制程成熟，不会在实施中出问题。但是，设计是一回事，实施起来是另一回事。况且，具体制造要经过工程师之手，我只能从旁指导，不能包办代替。所以最后的成功，应该说明的，既是我设计正确，也是工程师执行得法，两者同样重要，缺一不可。

经过近一年的努力，这项MEMS传感器终于做出来了，测试结果也达到了设计要求。在这大功告成，胜利在握的时刻，我不是趾高气扬，沾沾自喜，而是首先向两位担当实施任务的两位主要工程师，负责传感器芯片制造的Huang先生和负责传感器电学测量的Qiu先生表示感谢。他们竭尽全力，鼎力相助，让我感激万分。他们同心协力，真诚合作，让我永生难忘。

须知，发明是推陈出新，标新立异的。但有不少些人看来，是不懂常识，是违背常规，是痴人说梦，异想天开，所以经常有人背地里指责我，非难我，甚至讽刺我，嘲笑我，而Huang先生和Qiu先生却是反其道而行之。他们尊重科学，重视实践；他们勤奋好学，勇挑重担；他们脚踏实地，步步为营；他们刻苦钻研，不厌其烦，从而将我的一项MEMS传感器专利转化为产品。

MEMS传感器的实施成功，让更多的人相信我的发明是前卫的，新颖的，有远见的，反映了现实需要的，是可以转化成为实用产品的，从而大大提高了我在MEMS公司的威望。更多的工程师愿意与我合作，更多的管理人员主动向我求教，大家都更尊重我，敬佩我，把我当作良师益友，我成了公司最受欢迎的人了。

找我谈话最多的是Huang先生，他是机械硕士，毕业于德国的亚琛工业大学。他学的传统机械虽然与微机械相去甚远，但对于像亚琛这样在世界工程学科上独领风骚的大学的毕业生说来，是一通百通。他从亚琛学的先进的理论知识和科学的思维方法，到处都可以用得上。不管去到什么地方，从事何种职业，都有可能成为该地方和该行业的佼佼者。

俗话说的“名师出高徒”，Huang先生做的MEMS传感器芯片，在显微镜下看来，就像是一件精雕细刻的工艺品，称得上是“高徒”之作。实际上，MEMS传感器芯片比传统工艺品高超多了，论大小，是微米级，论精度，是纳米级，论功能，是上天入地，呼风唤雨。虽然制作这件工艺品的技术不是传统的切，削，磨，抛，而是现代的氧化，扩散，光刻，腐蚀，但成功的秘诀是一样的，遵循的理念是一样的，都要求精密设计和精确加工，都要求认真负责和一丝不苟。正是这些秘诀成就了亚琛的一世英明，让它在汽车和航空业鹤立鸡群，久盛不衰。由于Huang先生在亚琛得到真传，他虽在亚琛没有学过微电子，但这并没有不妨碍他从事MEMS，他边干边学，学以致用，不到半年全都学会了，并且表现优异，成就卓绝。

Huang先生身体颀长，眉清目秀，很帅气。我想他很有艳福，不愁找不到女友。有一次我与他闲聊，才知道他还是单身。他是有一位女朋友，不过还在德国读音乐硕士。Ding博士告诉我，他劝Huang先生尽快去德国找他的女朋友，分得太久了，恐怕女朋友保不住。Huang先生听了，笑笑，似乎不太相信。但过了几天后，他信了，找到Ding博士请探亲假。他去了一趟德国，而且很有成效，与女友商定了回台湾结婚的日期。

Qiu先生与我联系也有比较多，他是电子学硕士，毕业于台北科技大学。来MEMS公司之前，已在台中的一家麦克风公司工作过，有比较多的工作经验。可他的年龄并不太大，看起来比Huang先生还显得年轻些。他体态匀称，英俊潇洒，很有风度。刚开始，我对他设计传感器电路有些担心，怕他到时候设计不出来，我给他找了参考电路，想让他照着做。后来才发现，我的担心是多余的，他独立设计电路的水平很高，他搭建的MEMS传感器测量系统也很成功。我几乎不用费什么劲，就能得到有关这项MEMS传感器的所有测量数据。我心里想，我周围的这些工程师，年龄相近，教育程度也差不多，为什么工作能力相差那么巨大，业务绩效相差那么悬殊？

离我的办公桌比较近的工程师Yu先生，一有空就来找我聊天。他除了谈工作，也谈些别打。他说我与他共祖宗，并且引经据典，说得头头是道。他是从台湾工业研究院材料所调来的，据说曾经做过压力传感器。我倒希望他参加我的专利实施项目，可他做的工作是扫描电镜。我问过人事主管，他说，Yu先生本来也是在生产线上，只是在操作设备时，出了一次责任事故，不得不把他调离生产线。

Yu先生是客家人，四十多岁，中等身材，忠厚老实，热心于志工活动。台湾的志工，是一群充满人性善和爱心美的群体。来自社会各行各业，年龄老中青都有。在天灾人祸，医院救护、心理救济、家庭看护、大型活动中，都有热心助人的志工出现。

Yu先生对客家传统文化的继承和发扬特别热心，经常在客家采茶剧公演活动中做志工。他说，客家三脚采茶戏是客家人从江西赣南带来台湾的，客家人把采茶戏当作自已的传统文化，推陈出新，发展成台湾客家人喜闻乐见的优秀戏种。客家采茶剧团很多，但都很小，以廟门前的广场演出為主，配合重要神明誕生的日子或是其他庆典，如義民節或是歲未的打醮等。新竹市的文化中心经常会把这些小剧团组织起来，排练成大型戏剧，在大剧场公演，并由电视台转播，以扩大客家采茶戏的影响力。演出经费由政府提供，演出服务人员由招募志工解决。他还说，他们正在演出的是有关客家人抗日的故事，剧本是客家人写的，在客家人社区很受赞扬。志工还帮助推销剧票，实际上是募捐，Yu先生给我一张票，我要给他钱，他死活不要。

还有一位Pong先生，是设备工程师，他经常问我一些有关设备方面的问题。闲谈时，我了解到，他也是客家人，四十来岁，身材适中，腰圆体胖，背有点驼。他家在农村，离科学园不远，是山区，以种茶为主。据说，以前没修公路，到新竹市区要走两天的山路，现在开车两个小时就到了。Pong先生喜好乐器，特别是黑管，吹奏一曲邓丽君的“月亮代表我的心”，赏心悦耳，让人赞不绝口。他是一个业余乐队的成员，经常参加演出。如果是婚丧嫁娶，还会有一笔很可观的收入。

Pong先生告诉我，他住的农村，是一个Pong姓大家族，五代同村，200多人，全都姓一个姓，名字都按祖定的辈份排列。近几十年来，村里的年青人渴望自主，不少人離開家庭，出外谋生。留在村里的，也不願和長輩住在一起，要獨立生活，所以村子里幾代同堂的大家庭已不多见了。不过，每年清明节，全村的人都会聚集在一起祭祖掃墓，表示对祖先的尊敬与怀念。住在外地的人，也都会赶回村，参加这个家族的大型活动。追本溯源，不忘遗训，这是中华民族歷代沿襲的传统，作为中华儿女的我们，应该继承和发扬！

一年多的专利实施过程，我和工程师们都有很大收获，有产品成果，有技术成长，还有友谊建立。工程师们都年轻，他（她）们都很尊重我，把我看作是专家，也看作是长辈，亲热得像家人。